5nm芯片

不需EUV光刻机也可以造5nm芯片？外媒：中国芯“弯道超车”了

在中美科技博弈的硝烟中，半导体设备禁运如同一把达摩克利斯之剑悬在中国芯片产业头顶。当ASML的EUV光刻机成为5nm以下先进制程的代名词时，中国工程师却在实验室里开辟出一条"去EUV化"的创新路径。