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尽可能详细介绍芯片制造的大马士革工艺-DeepSeek创作

用户让我尽可能详细地介绍芯片制造中的大马士革工艺。首先，我需要回顾一下之前的知识，大马士革工艺主要用于金属互连，特别是铜互连，对吧？不过现在得仔细看看用户提供的搜索结果，确保信息准确且最新。