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光刻机之战:未来已来!

“七架波音747才能运走一台机器。”ASML的High-NA认证团队负责人Assia Haddou指着眼前四层楼高的金属巨兽对我说。这台高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV)刚刚在荷兰费尔德霍芬的实验室完成最终测试,它由四个模块组成,分别在美国康涅狄

asml 光刻机 费尔德霍芬 张振宇 jsr 2025-05-29 14:21  4