半导体设备产业链贯穿半导体制造全流程，涵盖上游零部件与材料、中游核心设备制造、下游晶圆制造与封测应用，形成高度专业化与技术密集的产业生态。上游环节包括半导体零部件（如机械件、电气元件）、材料（如光刻胶、高纯度硅片），其技术精度直接影响设备性能。中游聚焦光刻机、

半导体 asml ald 行业动态 半导体行业动态 2025-05-23 09:06  6