日本纸业巨头进入2nm木基光刻胶领域,2028年实现商业化
该技术路线是从木材中提取可用于光刻胶的前驱体材料,然后将前驱体材料与特定溶剂混合聚合(并使用净化技术去除杂质),最终制成光刻胶成品。对此,王子控股宣称其木基光阻剂可满足2nm先进制程需求,这代表的也是针对日本新创晶圆代工厂商Rapidus的商机而来。
该技术路线是从木材中提取可用于光刻胶的前驱体材料,然后将前驱体材料与特定溶剂混合聚合(并使用净化技术去除杂质),最终制成光刻胶成品。对此,王子控股宣称其木基光阻剂可满足2nm先进制程需求,这代表的也是针对日本新创晶圆代工厂商Rapidus的商机而来。