曲面镜

国产化提速！波长光电攻破曲面镜技术，28nm量产背后“天蚕九变”

深秋的上海张江科技城，一台重达30吨的精密设备正进行最后调试，银色机身映照出工程师专注的面庞。这是上海微电子自主研发的28nm浸没式光刻机，其核心部件国产化率突破85%，标志着中国半导体设备制造正在经历前所未有的蜕变。