国产化提速!波长光电攻破曲面镜技术,28nm量产背后“天蚕九变” 深秋的上海张江科技城,一台重达30吨的精密设备正进行最后调试,银色机身映照出工程师专注的面庞。这是上海微电子自主研发的28nm浸没式光刻机,其核心部件国产化率突破85%,标志着中国半导体设备制造正在经历前所未有的蜕变。 光电 波长 天蚕 波长光电 曲面镜 2025-05-22 13:30 2