卡尔蔡司SMT申请干涉测量设备专利,用于干涉地确定被测物体的测试表面形状的特性 国家知识产权局信息显示,卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“干涉测量设备”的专利,公开号CN 119334270 A,申请日期为2024年7月。 蔡司 smt 卡尔蔡司 2025-01-24 10:30 4