精密运动平台是指定位精度在微米或纳米级的定位和传动运动模块。 精密运动平台主要采用直线电机作为驱动单元，精密光栅尺作为测量反馈单元。 它由精密直线导轨引导，通过闭环控制可以实现三维空间中任意点的精确定位。 精密运动平台的定位精度决定了整个设备的加工或测量精度，

半导体 气浮 cagr aerotech 气浮轴承 2025-05-22 00:31  3