上海华虹宏力半导体降低等离子体损伤专利申请,降低等离子体损伤 国家知识产权局信息显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“降低等离子体损伤的方法”的专利,公开号 CN 119297070 A,申请日期为2024年9月。 半导体 等离子体 宏力半导体 2025-01-16 12:31 3