三氯氢硅

内蒙古鄂尔多斯多晶硅业取得一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺专利

国家知识产权局信息显示，内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司取得一项名为“一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺”的专利，授权公告号 CN 115259165 B，申请日期为2022年8月。