激光退火设备是指利用高能激光束对晶圆进行自动退火的专用设备，其主要功能是将具有特定形状、能量分布均匀的激光束斑投射到半导体晶圆上，由运动工作台承载和吸收进行扫描，以完成整片晶圆的退火过程。

激光退火 恒州 激光退火设备 2024-11-20 10:15  1